走査型電子顕微鏡
(Scanning electron microscope: SEM)
・使用目的
試料表面の観察に用いる。光学顕微鏡よりも分解能にすぐれ、サブミクロンの形状が明瞭に観察可能。低真空モードもついているので，発泡した火山灰などの凹凸が激しい試料の場合には，非蒸着で試料観察が可能．
・原理
電子線照射によって試料表面からは、試料の表面形状に強く影響される２次電子や試料表面付近の原子の平均原子量に強く依存する反射電子などが放出される。試料表面を電子線で走査しながら、これらの２次電子や反射電子強度を測定し、これらを適当な輝度信号に変換してやることによって、電子線によって物体の形状を観察することができる。電子線の波長は可視光よりも格段に短いので、光学顕微鏡よりもより細かな構造を観察できる。